Az elektron- és optikai mikroszkópok pontossága típustól és kialakítástól függően változik, az alábbiak szerint:
Az elektronmikroszkópia pontossága
Transzmissziós elektronmikroszkópia (TEM): Jelenleg a transzmissziós elektronmikroszkópia felbontási pontossága képes 0,2 μm alatti struktúrákat is felbontani, a poláris határfelbontás pedig elérheti a 0,1 nm-t. Például néhány jó transzmissziós elektronmikroszkóp 1,5–2 Å felbontással rendelkezik (1 Å = 0,1 nm), amivel szinte az összes atomot képes felbontani.
Pásztázó elektronmikroszkópia (SEM): Általában 1 μm³ térbeli felbontást érnek el, bár a pontosság a berendezés típusától és a vizsgálati körülményektől függően változhat.
A fénymikroszkópia pontossága
Általános optikai mikroszkópia: határfelbontása általában körülbelül 250 nm, ami 1 milliószorosa az emberi szem felbontásának (0,25 mm). Az optikai mikroszkópia felbontása és nagyítása azonban jelentősen javítható nagy pontosságú lencsék és optikai technikák alkalmazásával.
Nagy pontosságú optikai mikroszkóp: mint például az optikai digitális mikroszkóp, felbontási pontossága elérheti a 0,1 μm-t, nagyítása akár 5000-szeres is lehet. Ezenkívül léteznek nagy pontosságú analitikai eszközök, mint például a háromdimenziós optikai mikroszkóp, amelyek a fehér fény interferenciájának elvén működnek, és szubnanométeres felbontással képesek felületi topográfiai mérést végezni.
Speciális optikai mikroszkópia: például 2 nm-es pozicionálási pontosságú optikai nanoszkópia, mint például a MINFLUX technológia, ami azt jelzi, hogy a nanoskálájú felbontású mikroszkópia hivatalosan is belépett az élettudományi kutatások területére.
Közzététel ideje: 2025. november 1.

